SEMI가 집계한 지난해 지역별 반도체 장비 매출. /SEMI 제공

글로벌 반도체 장비 매출이 지난해 역대 최대 규모인 140조원을 기록한 것으로 나타났다.

14일 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 지난해 글로벌 반도체 장비 매출액이 2021년 대비 5% 늘어난 1076억달러(약 140조원)로 집계됐다.

지역별로는 중국 장비 매출이 가장 컸다. 중국은 투자액이 전년 대비 5% 줄었지만 지난해 283억달러(36조원) 매출을 올리며 3년 연속 반도체 장비 구매가 가장 큰 지역으로 꼽혔다. 이어 대만은 8% 증가한 268억달러(34조)를 기록해 4년 연속 성장한 것으로 나타났다.

한국은 14% 감소한 215억달러(28조) 매출액을 기록해 3위에 이름을 올렸다. 유럽은 63억달러(8조)로 비중이 크진 않았지만 전년 대비 93%의 높은 성장세를 보였다. 부문별로는 지난해 웨이퍼 가공 장비 매출이 8%, 기타 전공정 장비 매출이 11% 늘었다.

2021년 성장세를 보인 패키징·어셈블리 장비 매출은 지난해 19% 급감했다. 테스트 장비 매출도 전년 대비 4% 감소했다. 아짓 마노차 SEMI 최고경영자(CEO)는 "고성능 컴퓨팅(HPC)과 차량용 반도체 분야 성장으로 반도체 팹 생산 능력 확장 요구가 커지며 매출이 늘었다"고 밝혔다.