코스닥 시장 입성에 도전하는 아이엠티가 국내 최초로 개발한 극자외선(EUV) 기술에 대한 자신감을 드러냈다. 차세대 반도체 고대역폭메모리(HBM) 시장에서 유의미한 성과를 내겠다는 것이다. 반도체 공정의 건식 세정 분야에서 독보적인 기술을 보유했다고 평가받는 아이엠티는 소부장(소재·부품·장비) 기업 가운데 최초로 기술성 평가에서 ‘AA’등급을 받았다.
최재성 아이엠티 대표는 8일 서울 여의도에서 기자간담회를 열고 “아이엠티는 반도체 공정의 건식 세정 분야에서의 독보적인 기술력을 보유하고 있다”며 “상장 이후 차세대 첨단 반도체 시장 선점을 통해 글로벌 톱 티어(Top-Tier) 기업으로 도약할 것”이라고 밝혔다.
지난 2000년 설립된 반도체 공정장비 기업 아이엠티는 레이저와 이산화탄소를 활용한 세정 장비를 주력 제품으로 생산 중이다. 이산화탄소 드라이아이스를 이용하는 건식 공정이 전문이다. 최근에는 차세대 반도체인 HBM의 3세대 건식 세정 장비도 세계 최초로 개발했다. 메모리 반도체는 대부분 습식 세정이 사용되지만, 최근에는 건식 공정 선호도가 커지고 있다. 표면 손상과 2차 폐기물이 최소화된다는 장점 때문이다.
아이엠티의 경쟁력은 EUV 마스크 레이저 베이킹 기술에서도 나온다. EUV는 파장이 13.5nm에 불과한 레이저로, 파장이 짧을수록 더 미세한 패턴을 그릴 수 있다. 정밀성이 요구되는 반도체 제조 분야에서 각광받고 있는 기술이다. 현재 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비 사업은 국내에서 아이엠티가 유일하다. EUV 시장은 연평균 26.4% 성장률이 예상된다.
아이엠티의 EUV 기술력에 대한 자신감은 비교 기업군 선정에서도 드러난다. 유진테크, 테스 등 국내 주요 세정 장비 회사가 아닌 EUV 장비를 개발·공급하는 파크시스템스를 첫머리에 배치한 것이다. 최 대표는 “글로벌 반도체 기업들이 미세 공정을 위해 EUV 공정을 도입하는 사례가 늘어날 것으로 전망되는 만큼 성장 가능성이 높다”고 설명했다.
아이엠티는 지난 4월 코스닥 상장을 위한 기술성 평가에서 한국발명진흥회로부터 레이저 세정 장비 기술, CO2 세정 장비 기술은 물론 EUV Mask용 레이저 응용 장비 기술과 관련해 ‘AA’ 등급을 받았다. AA 등급은 장래 환경 변화에 크게 영향을 받지 않을 수준의 ‘매우 높은 기술력’을 가진 기업에 부여되는 평가 점수다.
아이엠티는 반도체 분야 외에도 2차전지 등 레이저 세정에 대한 수요가 있는 분야로 시장을 확대한다는 계획이다. 아이엠티는 이미 파우치형 2차전지 실링툴 오염을 세정하는 장비를 개발했다.
아이엠티의 총 공모주식수는 158만주, 주당 공모 희망 밴드는 1만500~1만2000원, 공모 예상 금액은 희망 밴드 상단 기준 190억원이다. 오는 6일부터 12일까지 수요 예측을 실시해 공모가를 확정한 후, 18~19일 일반 공모 청약을 진행한다.