주성엔지니어링(036930)

은 정전척의 냉각베이스에 관련된 특허를 취득했다고 6일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허기술은 열 부하를 효과적으로 제어한다"며 "반도체 장비사업의 경쟁력 강화를 위해 활용할 계획"이라고 말했다.