주성엔지니어링(036930)

은 17일 '액정표시장치용 플라즈마 강화 화학기상증착 장치의 샤워헤드 어셈블리' 특허를 취득했다고 공시했다.

주성엔지니어링은 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화를 위해 이 특허를 활용할 것이라고 전했다.