로체시스템즈는 진동 로봇의 웨이퍼 클램프 장치와 관련한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

회사측은 "당사의 반도체 이송장비에 적용될 예정"이라고 특허 활용계획을 밝혔다.