DB하이텍이 국가 나노팹 통합 플랫폼 '모아팹(MoaFab)'의 반도체 공정 지원 역량을 강화하기 위해 미세전자기계시스템(Micro-Electro-Mechanical Systems·MEMS) 장비 3대를 지원한다.
DB하이텍은 충북 음성 상우캠퍼스에서 과학기술정보통신부·모아팹 관계자들과 반도체 장비 이전 협약을 6일 체결했다.
모아팹은 지역별 국가 나노팹을 연계해 반도체 연구개발과 시제품 제작을 지원하는 통합 플랫폼이다. 과기정통부와 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍은 작년 3월 모아팹의 경쟁력 강화를 위한 업무협약을 맺었다.
DB하이텍은 이번 협약에 따라 MEMS 공정용 고온 열처리 장비 1대와 식각 장비 2대 등 총 3대를 지원한다. MEMS는 반도체 제조 공정을 활용해 나노 단위의 초소형 정밀 기계 구조물을 만드는 기술이다.
이전된 장비는 모아팹 참여기관인 나노종합기술원과 나노융합기술원의 연구개발·시제품 제작 공정에 활용된다. DB하이텍은 장비 지원과 함께 반도체 제조 기술과 팹 운영에 필요한 자문도 제공할 계획이다.
이날 행사에는 과기정통부와 DB하이텍, 모아팹 관계자 등 30여명이 참석했다. 협약식 이후에는 모아팹 운영·활용 방안을 논의하는 간담회와 생산 시설 견학이 진행됐다.
DB하이텍 관계자는 "MEMS 공정용 장비 기증을 계기로 국가 나노팹에 대한 지원을 확대하겠다"며 "반도체 제조 기술과 팹 운영 자문을 지속해 국내 시스템반도체 경쟁력 강화에 기여하겠다"고 말했다.