반도체 장비 기업 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)가 방한한 가운데 전영현 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문장(부회장), 곽노정 SK하이닉스 대표이사 사장과 회동해 반도체 협력 방안을 논의하는 것으로 알려졌다.
12일 업계에 따르면 푸케 CEO는 이날 오전 경기 화성 송동에서 열리는 ASML 화성캠퍼스 준공식에 참석한 뒤 오후에 전영현 부회장을 만날 계획인 것으로 전해진다. 전날에는 곽노정 사장과 회동한 것으로 파악됐다. ASML은 네덜란드의 반도체 장비 기업으로, 반도체 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하고 있다.
ASML은 이번 회동을 바탕으로 삼성전자, SK하이닉스와 협력 관계를 다질 계획인 것으로 파악된다. 앞서 삼성전자와 SK하이닉스는 ASML의 최첨단 'High(하이) NA 극자외선(EUV)' 장비를 반입했다. 삼성전자는 올 초 처음으로 하이 NA 장비를 국내에 설치한 데 이어 연내 양산용 장비를 한 대 더 추가하기로 했다. SK하이닉스는 지난 9월 양산용 하이 NA 장비를 이천 M16팹(Fab)에 반입했다.
하이 NA EUV는 기존 EUV보다 해상도를 크게 향상한 차세대 노광 장비로, 한 대당 가격이 5000억원을 웃돈다. 2㎚(나노미터·1㎚는 10억분의 1m) 이하 파운드리(반도체 위탁생산) 공정과 10㎚ 이하 메모리 반도체 생산 공정에 필수로 투입된다.
삼성전자는 파운드리(반도체 위탁생산) 사업에서 승부를 걸고 있는 2나노 공정 성능·수율 향상에 ASML의 최첨단 장비를 먼저 투입할 계획이다. SK하이닉스도 고성능 AI 메모리 반도체 제조를 위해 이를 적극 활용할 방침이다.