반도체 제조 전문 기업 알에프세미는 4일 예스파워테크닉스와 1700V(볼트)급 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체를 양산한다고 밝혔다.
알에프세미에 따르면 1700V급 SiC는 국내에서 처음으로 개발된 제품이다. SiC 웨이퍼 제조와 함께 고난도의 고압 측정, 이온 주입, 활성화 공정 및 표면 처리 기술이 필요해 상용화에 어려움이 있다. 해외 기업인 인피니온, 크리, 온세미 정도가 1700V급 SiC를 생산하고 있다.
알에프세미는 지난해부터 예스파워테크닉스에 650V, 1200V급 SiC 제품을 파운드리(위탁생산)로 공급하고 있으며, 품질 개선을 위해 협력하고 있다. 예스파워테크닉스가 제품 설계와 일부 공정을 진행 중이고, 알에프세미가 상용화했다.
전력반도체는 높은 전력이 필요한 전기제품이나 전기차, 수소차, 5세대 이동통신(5G)망 등에서 전류 방향을 조절하고 전력 변환을 제어하는 필수 반도체다. SiC, GaN(질화갈륨)을 이용한 전력반도체는 기존 Si(실리콘) 전력반도체와 비교해 2배 이상 큰 전압에 견딜 수 있고, 고온에서도 정상 동작이 가능하다. 알에프세미의 1700V급 SiC 전력반도체는 충전시간을 줄이기 위해 고전압·고전류를 필요로 하는 전기자동차용 충전기로 활용된다.
이진효 알에프세미 대표는 “당사는 전주 공장에서 20년 넘게 6인치 웨이퍼 팹을 운영하면서 공정과 생산, 개발, 장비 기술을 보유하고 있다”라며 “2년의 공정 개발을 통해 95% 이상의 생산 수율(전체 생산품에서 양품이 차지하는 비율)을 확보한 상태다”라고 했다.