세계 최대 규모 반도체 공장인 삼성전자 평택캠퍼스. 이곳에서는 EUV 장비를 활용한 3세대 10나노급 D램이 생산된다. /삼성전자 제공

삼성전자는 3일 전세계 반도체 업계로는 최초로 전 사업장에 대한 영국 카본트러스트의 '탄소・물・폐기물 저감' 인증을 받았다고 밝혔다. 카본 트러스트는 지난 2001년 영국 정부가 기후변화 대응과 탄소 감축 방안의 일환으로 설립한 친환경 인증 기관이다.

삼성전자에 따르면 '탄소・물・폐기물 저감' 인증을 받은 사업장은 경기 기흥・화성・평택, 충남 온양・천안 등 국내 5곳, 미국 오스틴, 중국 시안・쑤저우・톈진 등 해외 4곳을 합해 총 9곳이다.

반도체 공정은 제품 미세화, 고집적화 추세에 따라 과거에 비해 크게 복잡해졌다. 그러면서 물 사용과 탄소, 폐기물의 배출도 함께 늘어나는 경향을 보인다. 이 때문에 반도체 전 사업장에서 물 사용량과 탄소, 폐기물 배출량을 저감하는 것은 매우 어려운 것으로 알려져 있다.

이들 사업장은 모두 카본트러스트의 '트리플 스탠더드(Triple Standard)' 라벨을 취득했다. 해당 라벨은 3년간 사업장의 탄소 배출량 3.7%, 물 사용량 2.2%, 폐기물 배출량 2.1%를 저감하고, 각 분야의 경영 체제에 대한 종합 평가 기준을 만족한 기업에게 부여된다.

삼성전자는 2018~2019년 대비 지난해 탄소, 물, 폐기물을 각각 9.6%, 7.8%, 4.1% 저감해 기준을 만족했다.

탄소 저감에 있어서는 2019년 미국, 중국 등 해외 반도체 사업장에 재생에너지 인증서(REC)를 구매해 100% 재생에너지로 전환했다. 국내 사업장은 태양광, 지열 발전 시설을 설치해 일부 사무실 전력으로 사용한다. 또 제조 공정의 온실가스 사용량을 최적화하고, 온실가스 저감 장치에 들어가는 새로운 촉매를 개발하는 등 탄소 저감 활동을 꾸준히 추진하는 중이다.

이를 통해 2020년 생산량 기준 환산시 약 130만t의 탄소 배출량을 줄였다. 이는 서울시 2배 면적에 해당하는 소나무를 심어야 흡수할 수 있는 양이다.

물 사용을 줄이기 위해 회사는 초순수를 정제하고 남은 물을 옥상 습식 세정 시설, 냉각탑 등에 재사용했다. 여기에 멤브레인(필터) 기술을 활용한 폐수 정화를 통해 물 재이용량도 높였다. 반도체 전 사업장의 지난해 물 재이용량은 약 7천만t으로, 2018~2019년 대비 약 12% 증가했다.

카본트러스트 트리블 스탠더드 라벨

2020년 생산량을 기준으로 환산하면 물 사용량 1025만t이나 줄었다. 이는 화성시와 용인시의 약 200만 인구가 한 달 동안 사용하는 물의 양과 비슷한 규모라는 게 회사 설명이다.

폐기물은 먼저 소재를 바꿔 폐수 슬러지를 대폭 줄였다. 폐수 슬러지란 폐수를 처리하는 과정에서 나온 침전물로, 전체 폐기물 발생량의 60% 이상을 차지한다. 또한 라인에 입고되는 제품의 포장 기준을 수립해 골판지 사용량, 비닐 포장 횟수, 노끈 묶음 횟수 등을 줄여 일회용 포장재 배출도 줄였다.

일반 사무실에서 나오는 재활용품의 분리배출 체계는 개선했다. 기존의 3종 분리배출함을 세분화해 6종으로 변경하고, 올바른 분리배출 문화를 정착시키기 위해 '비헹분섞(비우고, 헹구고, 분리하고, 섞지않고)' 캠페인을 벌였다. 회사는 "지난해 생산량 기준으로 3만5752t의 폐기물을 없앴다"고 했다.

장성대 삼성전자 DS부문 지속가능경영사무국 전무는 "기후변화에 효율적으로 대처하기 위해 탄소, 물, 폐기물 분야에서 수십 년간 다각도로 노력해왔으며 사업장 경영지표로 관리해왔다"라며, "초미세 공정 기반 저전력 반도체, 친환경 수처리를 통한 지역 생태계 복원, 온실가스 저감 설비 개발 등으로 반도체 사업의 지속 가능성을 높여 나갈 것"이라고 했다.