공작기계 기업인 DN솔루션즈가 반도체 산업에 필요한 고정밀 연삭가공기 시리즈를 출시했다고 4일 밝혔다.
반도체 웨이퍼 공정에 사용되는 포커스링 등 소모성 부품을 만들기 위한 기계로, DN솔루션즈의 세라믹 가공기라는 의미를 담아 DNC(DN Solutions Ceramic) 시리즈로 이름 지어졌다.
DNC 시리즈는 최대 1만rpm의 속도와 7.5kW의 출력을 내는 연삭 스핀들 기술이 적용됐다. 또, 장시간 가공에 따른 품질 저하를 방지하기 위해 일체형 고강성 베드와 이송축 가이드로 진동을 줄였다.
또, 연삭 스핀들의 위치가 쉽게 틀어지는 기존 장비와 달리 긴 수명으로 정밀도를 유지할 수 있도록 구조 강성도 높였고, 장비 내부에 분진이나 절삭유가 들어가지 않도록 커버 구조도 적용했다.
이 덕분에 DNC 시리즈는 석영·세라믹·실리콘카바이드 등 가공이 어려운 소재도 정밀하게 깎아낼 수 있어 고온이나 화학약품에 내구성이 높은 웨이퍼 제작용 소모품을 만들 수 있다.
DN솔루션즈 관계자는 "DN솔루션즈는 이미 한국 반도체 소재 가공장비 시장의 절반, 일부 공정에서는 80%에 가까운 점유율을 차지하고 있다"며 "DNC시리즈는 오랜 노하우와 현장 경험을 바탕으로 개발된 제품"이라고 말했다.