종합 장비회사 에스에프에이(056190)(SFA)가 'HBM의 불량 검출 및 분석을 위한 AI 기반 비파괴 장비 기술 개발' 국책과제의 주관 연구기관으로 선정됐다고 18일 밝혔다. 이 과제는 산업통상부 주관 'AI 팩토리 선도사업' 일환으로, 4년간 총 100억원 규모로 진행된다.
산업부는 2030년 제조 AI 최강국 진입을 목표로 한국을 대표하는 산업별 제조기업은 물론 학계 및 연구기관이 참여하는 민관협의체 'AI 팩토리 M.AX 얼라이언스'를 발족해 'AI 팩토리 선도사업'을 전개하고 있다. 이 사업은 산업별 제조 데이터 공유·협력체계 강화 및 제조 AI 파운데이션 모델 개발 등을 기반으로 제조공정에 AI를 접목해 제조 생산성을 획기적으로 높이고 제조 비용과 탄소 배출 등을 감축하는 프로젝트다.
이 사업에 적극 참여한 SFA는 반도체 부문에서 HBM의 품질혁신을 이끌어내는 AI 기반의 비파괴 검사장비 개발과제의 주관 연구기관으로 선정됐다. 이 과제에는 국내 반도체 대표기업이 수요기업으로 참여하고 있고, 한국전자기술연구원, 포항공과대학교, 충남테크노파크, 아이피투비 등이 공동 연구기관으로 참여한다.
SFA는 이 과제를 통해 AI 기반의 고해상도 전기발열 검사 기능과 고속 나노급의 CT검사 기능을 통합한 검사장비를 개발해 HBM 검사시간을 획기적으로 단축한다는 계획이다. 현재 해외 장비사가 공급한 CT장비는 HBM 칩 1개 검사에 수 시간이 소요되는 상황인데, 이를 30분 이내로 단축하는 품질 혁신을 이뤄 HBM 수율 획기적인 개선 및 HBM 제조라인의 생산성 제고에 크게 기여할 것으로 기대된다.
SFA 관계자는 "HBM 반도체 제조장비 분야에서 성공적인 물류시스템 시장 진입은 물론 CT장비, 정밀분석장비 등을 개발해 검사·측정 영역까지 아우르는 강력한 성장동력을 확보해 나가겠다"고 말했다.