글로벌 반도체 노광장비기업인 ASML이 화성에 2400억원을 들여 첨단 EUV 클러스터를 조성에 나선다. ASML은 첨단 EUV 노광장비를 독점 공급하는 기업으로 반도체 업계의 ‘수퍼갑’으로 통한다.
ASML과 산업통상자원부 등은 13일 이같은 내용을 담은 첨단장비클러스터투자협약을 체결했다. ASML은 오는 2025년까지 총 2400억원을 투자하고 300명을 채용해 노광기 관련 트레이닝 센터와 재제조센터를 구축할 계획이다. 산업부와 지자체는 ASML의 투자시 어려움을 풀어주고 인허가 지원 등을 적극 돕기로 했다.
이번 ASML의 화성 클러스터 조성에 따라, 판교와 기흥~화성~평택~온양의 서쪽, 이천~청주의 동쪽이 용인에서 연결되며 K-반도체 벨트가 완성됐다. 용인, 화성 지역에는 반도체 식각 분야 첨단기업인 램리서치(Lam Research)사의 제조시설이 위치해 있는데, 이 시설도 2025년까지 생산 능력을 두배로 확대된다. 이 일대는 램리서치의 원자레벨 식각기술 연구개발(R&D) 센터도 들어서 ‘에칭 빌리지'의 모습을 갖추게 된다. 정부는 앞으로도 국내에서 단기 기술추격이 어려운 EUV 노광 및 첨단 식각, 소재 분야에서 외국인투자기업 유치를 확대해 국내 반도체 공급망의 한계를 보완할 계획이다.
이밖에 정부는 청주, 음성 등 파운드리 기반을 중심으로 120여개 시스템반도체 기업이 있는 중부권의 파운드리 생산기반과 패키징 공정기반을 활용해 첨단 패키징 특화 혁신기지 조성할 계획이다. 이를 통해 핵심 패키징 기술을 선점하고 시스템반도체 산업을 육성한다는 구상이다. 올해 하반기 예비타당성조사를 추진하고 있는 첨단 패키징 플랫폼 사업은 플립칩, WLP, PLP, SiP, 3D 등 5대 첨단 패키징 관련 기술을 개발하고 이를 위한 기반시설 및 파일럿 패키징 서비스를 제공하는 내용을 담고 있다.
정부는 또 판교부근에는 한국형 팹리스 밸리를 조성할 계획이다. 우선 제2판교 내에 구축한 ‘시스템반도체 설계지원센터’의 기능을 강화해 팹리스 창업 및 성장의 핵심기지 마련하고, 팹리스와 인공지능(AI)등 첨단 산업을 망라한 차세대 반도체 복합단지(SF-Stadium) 구축도 추진한다.