HPSP의 고압 어닐링 장비. /HPSP 제공

반도체 장비회사 HPSP(403870)가 예스티와의 특허 소송에서 승기를 잡았다는 소식에 장 초반 급등하고 있다.

1일 오전 9시 30분 현재 HPSP는 전 거래일 대비 3800원(12.36%) 오른 3만4550원에 거래되고 있다. 예스티(122640)는 5950원(29.97%) 떨어진 1만3900원에 거래되며 하한가를 찍었다.

앞서 특허심판원은 예스티가 HPSP를 상대로 제기한 특허 무효 심판에서 HPSP의 손을 들어줬다. 예스티가 청구한 3건의 권리범위 확인 심판에 대해서는 모두 각하 심결을 내렸다.

HPSP는 지난해 8월 예스티를 상대로 특허침해 소송을 제기한 바 있다. HPSP는 보유한 핵심 기술 중 하나인 ‘반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치’ 특허를 예스티가 침해했다는 것이다. HPSP가 글로벌 시장에서 독점적 지위를 지닌 고압수소어닐링(HPA·High Pressure Annealing) 장비에 쓰이는 기술이다.

이에 예스티도 지난해 10월 특허심판원에 HPSP를 상대로 특허 무효 심판을 제기했다. 아울러 올해 1월에는 3건의 권리범위 확인 심판도 제기했다. 예스티는 기술 노출을 일부 감수하고 청구 내용을 구체화해 소극적 권리 범위 확인 심판을 재청구하고, 특허 무효 심판에 1심 판결에 대해 항소한다는 계획이다.