ETRI クリーンルーム不要の大型電子皮膚技術開発

韓国電子通信研究院（ETRI）は24日、半導体のクリーンプロセス設備であるクリーンルームがなくても広い面積の電子皮膚を製作できる技術を開発したと明らかにした。

電子皮膚は人の皮膚のように圧力と接触を感知する薄く柔軟なセンサーであり、知能型ロボットの精密な触覚機能を実装するのに必要な中核技術とされる。

これまで柔軟電子センサーはマスク工程、真空蒸着、エッチングなど半導体製造基盤の工程を経る必要があり、高価なクリーンルーム設備が事実上不可欠だった。このため製作工程が複雑でコスト負担も大きかった。

とりわけ人と類似した外形のヒューマノイドロボットのように広い表面に触覚センサーを適用するには、工程の安定性と信頼性を同時に確保しなければならない難しさがあった。

研究陣はこうした問題を解決するため、紫外線（UV）レーザーと3Dプリンターだけでセンサーを必要な位置に直接実装するマスクレス工程技術を開発した。別途のマスク工程なしに製作が可能で工程段階を大きく削減し、クリーンルームへの依存度も大幅に下げたという説明だ。

今回の技術は、工程を分けたり別途搬送する過程なしに一つの連続工程でその場でセンサーを製作できるのが特徴である。さらに曲面や凹凸のある複雑な形状にも適用でき、活用範囲を広げた。

キム・ヘジンETRI責任研究員は「今回の技術は大面積柔軟センサー製作の参入障壁を大きく下げると同時に、ロボットと人間の相互作用技術の実装可能性を一段進展させる中核技術だ」と述べ、「今後、知能型ロボット、ウェアラブルデバイスなどに適用できるだろう」と語った。