東京エレクトロンコリアが大学生を対象に、実際の半導体製造装置と工程を体験できる人材育成プログラムを運営した。
東京エレクトロンコリアは26〜27日の2日間、半導体人材育成プログラム「TEL-人キャンプ(テルインキャンプ)」第1期を実施したと28日明らかにした。今回のプログラムには、会社と産学協力を結ぶ8大学の理工系3〜4年生40人が参加した。
教育課程は会社紹介をはじめ、研究開発(R&D)センターのクリーンルーム見学、トレーニングセンターでの装置実習、現職エンジニアのメンタリングなどで構成した。
初日の教育は東京エレクトロンコリア華城市務所とR&Dセンター「TTCK-2(TEL Technology Center Korea-2)」で行った。TTCK-2は2024年10月に竣工した東京エレクトロンの韓国内3番目のR&D拠点で、顧客企業のウェーハを持ち込み、プロセス技術を開発する施設である。
東京エレクトロンコリアは、通常は外部公開が制限されるTTCK-2のクリーンルームを学生に開放した。学生は担当エンジニアの説明を聞きながら、実際に稼働中の半導体製造装置と工程を見学した。
走査電子顕微鏡(CD-SEM)を用いた微細回路パターンの読取り過程も確認した。CD-SEMは半導体微細回路の線幅である臨界寸法を測定し、設計どおりにパターンが実装されたかを確認する計測装置だ。
2日目には発安工場のトレーニングセンターで装置実習を行った。学生はフォト工程の前後で塗布・現像を担うコーター・デベロッパーをはじめ、洗浄・エッチング装置の実習と仮想現実(VR)教育など4つの課程を履修した。
教育には実際に東京エレクトロンのエンジニア教育に用いる施設と装置を活用した。社内のプロセス教育担当トレーナーが装置ごとの役割と特性、半導体生産現場での適用事例などを説明した。
東京エレクトロンコリアは現在、嘉泉大・慶煕大・檀国大・明知大・成均館大・亜洲大・仁荷大・漢陽大など8大学と産学協力を結んでいる。学会支援や奨学金授与、半導体関連の専門書籍寄贈などの人材育成活動も進めている。
7月には子ども向け職業体験テーマパークであるキッザニアソウルに「TEL半導体ドリームラボ」を開設し、児童を対象とした半導体エンジニア体験教育も始めた。
ノ・テウ東京エレクトロンコリア代表は「半導体技術の発展を継いでいくのは結局は人だ」と述べ、「大学と協力し、学生が実際の装置と工程を直接経験できる機会を広げ、韓国の半導体産業の人材育成に貢献する」と語った。