「30年近く国家研究費を受けて原子顕微鏡を研究してきた。論文や特許だけを残すより、この技術を産業に還元すべきだという思いが強かった。すでに他社が得意とする装置を追うより、世の中にない装置を作って新しい市場を開拓したい。」
23日、ソウル九老区のマルチスケールインストルメンツ（MSI）本社で会ったジェ・ウォンホ（66）代表は、創業の背景を問うとこう語った。ソウル大学物理学科の名誉教授であるジェ・ウォンホ代表は、水晶振動子ベースのセンサーと原子顕微鏡（AFM）を30年近く研究してきた学者だ。研究室で蓄積した技術を産業現場へ持ち込むという目標で起業に踏み切り、現在は半導体量産工程向けの次世代計測装置を開発している。
MSIが掲げる中核は「マルチヘッド原子顕微鏡」だ。従来のAFMはプローブ（ヘッド）1本が表面を順次スキャンする方式のため、原子単位の精密な3次元情報は得られるが速度が遅く、研究用装置にとどまってきた。MSIは複数のヘッドが同時に異なる領域を測定する構造を適用して限界を解決する構想だ。現在、8個のヘッドが同時に作動する試作品を実装しており、今後16個、32個以上へ拡張可能なアーキテクチャーを確保したと明らかにした。
技術はすでに産業現場で検証手続きに入った。MSIはサムスン電子とサンプルテストを進め、SKハイニックスをはじめとする韓国のメモリー企業や半導体装置メーカーを対象に技術検証と事業協議を続けている。まだ顧客の量産検証（PoC）以前の段階だが、研究室を越えて実際の顧客評価を受け始めたというのが会社側の説明だ。
ジェ代表は、単に既存の電子顕微鏡（SEM）市場に参入することが目標ではないと強調した。AI時代に入り半導体は3次元構造が複雑化し微細化が進むなかで、計測技術の重要性が高まっている。AFMは精密な3次元情報の取得に強みがあるが、速度が限界だった。ジェ代表は「量産ではよく見えるだけでは意味がない」と述べ、「速度、再現性、安定性、制御性をすべて確保し、実際の生産ラインで歩留まりを高める装置にならなければならない」と語った。
会社はエッチングや成膜、CMPなどの工程装置内部に小型計測器を搭載する「インテグレーション・メトロロジー（Integration Metrology）」を新たな市場とみている。工程直後に装置内で欠陥を確認すれば不良の累積を減らし歩留まりを高められるためだ。ジェ代表は「スタンドアロン計測装置の市場は競争が激しいが、工程装置の内部に計測が入っていく市場はまだ始まったばかりだ」とし、「既存市場のシェアを奪うより、新しいブルーオーシャンをつくるのがMSIの戦略だ」と述べた。
会社は現在、約40億〜50億ウォン規模のシリーズA調達を進めている。年後半から翌年前半の間に顧客PoCを推進し、これを経て約2年以内に量産装置を発売することを目標としている。ジェ代表は「MSIを単なる装置メーカーではなく、半導体の製造方式を変える計測プラットフォーム企業として育てるのが目標だ」と語った。以下、ジェ・ウォンホ代表との一問一答。
-創業を決意した契機は。
「30年近く国家研究費で原子顕微鏡を研究してきた。論文で終えず産業に還元すべきだという思いが強かった。技術集約度が高く波及力の大きい半導体で最大の価値を生み出せると判断した。」
-MSI技術の差別化点は何か。
「従来AFMの限界は速度だ。複数のヘッドが同時に測定するマルチヘッド構造を開発し、現在は8ヘッドの試作品を実装した。量産に必要な速度、再現性、安定性を確保することが目標だ。」
-事業化はどこまで来たか。
「サムスン電子とサンプルテストを進め、SKハイニックスをはじめとする半導体企業、装置メーカーとも協議している。年後半から顧客PoCを推進し、約2年以内の量産を目標としている。」
-工程装置の市場を先に攻略する理由は。
「独立型計測装置よりも、工程装置内に計測を統合する市場のほうが大きな機会だとみている。工程中に直ちに欠陥を確認でき、歩留まり向上の効果が大きく、まだ競争も多くない。」
-創業にあたり最も重視することは。
「結局は人だ。良い装置は金だけでは作れない。機械、電子、ソフトウエアを理解する人材が一つのチームにならなければならない。小さなイーロン・マスクのような挑戦精神を持つ人々が集まり、世の中にない装置を作るという自負心で働いている。」