DBハイテックがMoaFabにMEMS装置3台提供

DBハイテックが国家ナノファブ統合プラットフォーム「モアファブ（MoaFab）」の半導体プロセス支援能力を強化するため、MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems、微小電気機械システム）装置3台を提供する。

DBハイテックは忠北ウムソンのサンウキャンパスで科学技術情報通信部・モアファブ関係者と半導体装置移転の協約を6日締結した。

モアファブは地域別の国家ナノファブを連携し、半導体の研究開発と試作品製作を支援する統合プラットフォームである。科学技術情報通信部とサムスン電子・SKハイニックス・DBハイテックは昨年3月、モアファブの競争力強化に向けた業務協約を結んだ。

DBハイテックは今回の協約に基づき、MEMSプロセス用の高温熱処理装置1台とエッチング装置2台の計3台を支援する。MEMSは半導体製造プロセスを活用し、ナノ単位の超小型精密機械構造物を作る技術である。

移転された装置は、モアファブ参加機関であるナノ総合技術院とナノ融合技術院の研究開発・試作品製作プロセスに活用される。DBハイテックは装置支援と併せて、半導体製造技術とファブ運営に必要な助言も提供する計画だ。

当日の行事には科学技術情報通信部とDBハイテック、モアファブ関係者など30人余りが出席した。協約式後には、モアファブの運営・活用方策を議論する懇談会と生産施設の見学が行われた。

DBハイテックの関係者は「MEMSプロセス用装置の寄贈を機に国家ナノファブへの支援を拡大する」と述べ、「半導体製造技術とファブ運営の助言を継続し、韓国のシステム半導体競争力強化に寄与する」と語った。