オランダの半導体露光装置企業ASMLが京畿道ファソン市ソンドンに造成した新社屋「ファソンキャンパス」（Hwaseong Campus）を正式開館したと12日に明らかにした。ASMLがこの日開催したファソンキャンパス開館式にはASMLの顧客企業、政府と地方自治体の関係者、在韓オランダ大使館、パートナー企業など約80人が出席した。
ASMLコリアは2022年11月、韓国の半導体産業との協力のため約2400億ウォンを投資してファソンキャンパスを設立する計画だと発表した経緯がある。この日開館したASMLファソンキャンパスはファソン市ソンドンの都市支援施設用地に1万6000㎡規模で造成された。A棟は地下4階〜地上11階、B棟は地下4階〜地上5階の規模だ。A棟には主要なオフィス空間が、B棟にはR&Rセンター（Repair&Reuse Center）とトレーニングセンターが設けられた。
トレーニングセンターではリソグラフィー（半導体表面に写真印刷技術を用いて配線パターンなどを形成する手法）装置に関する深化教育を実施する。ASMLと顧客企業など年間約2000人の受講者を対象に100件余りのプログラムを運営する。教育プログラムには半導体の超微細工程に不可欠な極紫外線（EUV）・深紫外線（DUV）装置も含まれる。ASMLは今後「ハイ（High）-ニューメリカルアパーチャ（NA）EUV」装置の教育も提供する計画だ。ハイNA EUVは前世代のEUVと比較して光の波長は同じだが、レンズが光を集められる数値を示すNAを高めた点が特徴である。
資源循環と炭素削減を目的に設けたR&Rセンターでは、顧客企業への修理対応や修理部品の再使用などの役割を担う。会社側は「装置の保守および部品修理も順次拡大する計画だ」とし「このほか大衆交通および徒歩通勤者の支援、使い捨て用品の使用制限などESGの原則を現場に積極的に反映している」と伝えた。
ASMLファソンキャンパスの建物は世界の環境配慮型建築認証制度であるLEED（Leadership in Energy and Environmental Design）と韓国のグリーン建築認証制度であるG-SEEDをともに取得した。約200枚の太陽光パネルを設置し、年間約133.5メガワット時（MWh）の環境配慮電力を生産する。これにより年間約67トンの二酸化炭素排出を削減できるというのが会社側の説明である。
クリストフ・フーケASML最高経営責任者（CEO）は「ファソン市にキャンパスを造成することにしたのは非常に戦略的な決定だ」と述べ、「新しいファソンキャンパスは韓国の顧客との信頼、革新、持続可能性、そして成長に向けたASMLの意思を示す象徴的な空間だ」と語った。さらに「主要半導体メーカーが位置するファソン市にあることで、より緊密な協力と迅速な技術支援が可能だ」とし、「半導体製造工程が複雑になるなか、このような近接性は効率的な技術移転にも寄与するだろう」と述べた。
ASMLは1984年にオランダのフェルトホーフェンで設立された世界首位の半導体露光装置企業である。半導体の超微細工程を実現するうえで必須のEUV露光装置を独占生産している。1996年にASMLコリアを設立し、ファソン、イチョン、ピョンテクなどを中心に装置の販売・保守・修理など多様な事業を展開している。昨年基準で年間約43兆ウォンの売上高を記録している。
ASMLコリアは今回のファソンキャンパス完工に合わせ、人員および装置の順次移転を進めている。2025年末までに移転が完了すれば、ファソン一帯に分散していた1500人余りの役職員が新キャンパスで共に勤務する予定だ。チェ・ハンジョンASMLコリア代表理事は「韓国の半導体産業と共に築いてきた成果を土台に、役職員に誇りを与える自慢のASMLコリアとなるよう最善を尽くす」と述べた。