総合装置メーカーのSFAは「HBMの不良検出および分析のためのAI基盤非破壊装置技術開発」国策課題の主幹研究機関に選定されたと18日に明らかにした。本課題は産業通商資源部が主導する「AIファクトリー先導事業」の一環で、4年間で総額100億ウォン規模で進める。
産業部は2030年に製造AI最強国入りを目標に、韓国を代表する産業別製造企業はもとより学界および研究機関が参加する官民協議体「AIファクトリー M.AX アライアンス」を発足し、「AIファクトリー先導事業」を展開している。本事業は、産業別の製造データ共有・協力体制の強化および製造AIファウンデーションモデルの開発などを基盤に、製造工程にAIを接木して製造生産性を飛躍的に高め、製造コストと炭素排出などを削減するプロジェクトである。
本事業に積極的に参加したSFAは、半導体部門でHBMの品質革新を牽引するAI基盤の非破壊検査装置開発課題の主幹研究機関に選定された。本課題には韓国の半導体を代表する企業が需要企業として参加し、韓国電子技術研究院、浦項工科大学校、忠南テクノパーク、IPToBeなどが共同研究機関として参加する。
SFAは本課題を通じて、AI基盤の高解像度電気発熱検査機能と高速ナノ級のCT検査機能を統合した検査装置を開発し、HBMの検査時間を飛躍的に短縮する計画だ。現在、海外装置メーカーが供給したCT装置はHBMチップ1個の検査に数時間を要する状況だが、これを30分以内に短縮する品質革新を実現し、HBMの歩留まりの飛躍的な改善およびHBM製造ラインの生産性向上に大きく寄与すると期待される。
SFA関係者は「HBM半導体製造装置分野での成功的な物流システム市場への参入はもとより、CT装置、精密分析装置などを開発し、検査・測定領域まで網羅する強力な成長動力を確保していく」と述べた。