エイチエムネックスは、子会社エスエムアイが光温度センサーを韓国で初めて国産化し、マイクロンのシンガポール工場でのクオルテストを最終通過したと8日に明らかにした。
エスエムアイは2024年8月からマイクロンのシンガポール工場に光温度センサーを装着し、ウエハー歩留まりや工程安定性などを検証するテストを進め、今月に最終承認を受けたと伝えた。今回の承認により、同社はグローバル半導体量産ラインに国産光温度センサーを供給できる基盤を確保した。
マイクロンのシンガポール工場における光温度センサーの月間使用量は1200個水準と推定される。
エスエムアイ側は、今年は月間使用量の10%以上を供給し、2027年以降には50〜60%水準まで受注が拡大すると見込んだ。実際の受注受付は今年第1四半期中に始まる見通しだ。
光温度センサーは、半導体プラズマエッチング工程のチャンバー内で電気信号の代わりに光の特性変化を利用して温度を測定する精密センサーである。光ファイバーを媒体として用いるため「光ファイバー温度センサー」とも呼ばれる。センサー先端に特殊化学物質配合物を塗布した後、光を照射して蛍光物質を濾過し、その蛍光物質の減衰時間の変化を分析して温度を測定する方式である。
エスエムアイはマイクロンのシンガポールを起点に、光温度センサーの適用市場をグローバル半導体企業全般へ拡大する計画だ。
主な潜在顧客群はSKハイニックス、サムスン電子、マイクロン（日本、米国、台湾）、TSMC、中国CXMTなどであり、現在マイクロン日本と中国CXMTはクオルテスト評価を進めているとされる。
エスエムアイの関係者は「半導体産業を越え、高温・高リスク環境が求められる多様な産業分野へと顧客向け光センサーシステムの開発を拡大していく計画だ」と述べた。